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光學微電子行業凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點
2019-12-31
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LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
A、無塵車間
潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的沖壓車間、組裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。
B、室內空氣參數要求 ：
(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5。
(2)新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的值：非單向流潔凈室總送風量的10-30;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。
潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的沖壓車間、組裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。
B、室內空氣參數要求 ：
(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5。
(2)新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的值：非單向流潔凈室總送風量的10-30;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。
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潔凈室中的溫濕度控制
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